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    “戰略性先進電子材料”重點專項“高性能無源敏感薄膜材料Si基異質異構集成方法及傳感器芯片研發”項目中期檢查在烏魯木齊進行
    作者:科技部  日期:2019-10-09  來源:中華人民共和國科學技術部

    近日,“戰略性先進電子材料”重點專項管理辦公室(簡稱“專項辦”)組織專家在新疆烏魯木齊“高性能無源敏感薄膜材料Si基異質異構集成方法及傳感器芯片研發”項目進行中期檢查。專項辦有關人員,項目責任專家、同行專家和財務專家,電子科技大學、中國科學院新疆理化技術研究所、中國電子科技集團第二十六研究所等單位的項目及課題負責人、課題研究骨干等共50余人參加了會議。

    本項目的主要目標是針對傳感技術發展對器件小型化、集成化、智能化的迫切需求,研究高性能無源敏感薄膜材料、傳感器與集成電路可兼容三維集成等關鍵技術,建立影響敏感材料和器件性能的多物理場耦合模型,突破硅基晶圓上無源敏感薄膜及器件的可控制備技術,研制出磁阻、氣體、海洋測溫傳感器等傳感器芯片,促進傳感技術在工業控制、海洋水文、安全生產等領域的應用。

    會議認為,該項目完成了任務書的中期預定目標,在晶圓級薄膜異質生長、離子注入剝離,單晶薄膜微細加工與器件集成,傳感器芯片設計與生產等方面取得了重要進展。會議建議圍繞指標相關性和系統性,進一步完善測試方案和方法,形成指標測試標準,開展專項項目之間學術交流活動。

     



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